- 日本SMC不锈钢制直通阀原理
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日本SMC不锈钢制直通阀原理
型号列表
AF30-N03-2
AF30-N03-2Z
AF30-N03-6
AF30-N03-8
AF30-N03B
AF30-N03B-2
AF30-N03B-6
AF30-N03B-8
AF30-N03B-J
AF30-N03B-R
AF30-N03B-W
AF30-N03B-Z
AF30-N03C
AF30-N03C-2
AF30-N03C-2R
AF30-N03C-6
AF30-N03C-8
AF30-N03C-J
AF30-N03C-R
AF30-N03C-W
AF30-N03C-Z
AF30-N03D
AF30-N03D-2
AF30-N03D-2R
AF30-N03D-6
AF30-N03D-8
AF30-N03D-8Z
AF30-N03D-J
AF30-N03D-R
AF30-N03D-W
AF30-N03D-Z
AF30-N03-J
AF30-N03-R
AF30-N03-W
AF30-N03-Z
AF30P-040S日本SMC不锈钢制直通阀原理
阀门类型
流体
工作温度(°C)
操作压力(Pa)
电导(l / s)注1)
泄漏(Pa·m3
/ s)的
工作时间(s)
法兰式
原则材料
导压力(MPa)
试点港口的大小
惰性气体在真空下
5〜60(高温型:5〜150)
大气压力为1×10-6
惰性气体在真空下
5〜60(高温型:5〜150)
大气压力为1×10-6
施工/维修部件表。
当去除密封材料(例如阀门,外部密封件)时,
注意不要损坏密封表面。 安装时
阀门和外部密封,确保O形圈不扭曲
操作前应调整初始排气速度(带驾驶员
端口S处于非加压状态)。
转动调整螺母将初始排气速率设定为零
顺时针旋转直到停止。 (不要使用工具。)
通过逆时针转动螺母来调整初始排气速率。
调整螺母的数量(其螺距为1毫米)旋转和初始
应参照右图确认排气导流
环境温度下为1.3×10-10 ,不包括气体渗透
这种材料比较,具有良的抗等离子体性,
但气体透过率高。SMC高真空阀使用的可选密封材料为
三菱电线工业株式会社(化合物编号1232-70,白色)
它具有较低的重量减少率和较低的颗粒产生量
在O2等离子体和NH3气体环境中。
在环境温度下为1.3×10-11 ,不包括气体渗透
阀体:SCS13(符合不锈钢SUS304)波纹管:不锈钢SUS316L
波纹管座:不锈钢SUS304。 FKM(标准密封材料)
双作用(双作用),加压打开/关闭
在环境温度下为1.3×10 -10 {1×10 -10},不包括气体渗透
在环境温度下为1.3×10-11 ,不包括气体渗透
注1)环境温度下的值,不包括气体渗透。常闭(加压打开,弹簧密封)
注2)请参阅80页上的“结构”的零件编号以获得更改的零件。
数字表示相应的“施工”的零件编号。