XYA-63高真空直通型阀，日本SMC

不锈钢制高真空L型阀／直通阀  XM/XY
注）对直通型无尺寸16的阀。	系列/CAD (L型/直通型) 动作方式 轴密封方式 阀形式 材质 法兰尺寸 XMA/XYA  气控 波纹管密封 单作用 (N.C.) 阀体： 　 SCS13 　 (相当SUS304)  波纹管： 　 SUS316L 16～80注） XMC/XYC  双作用 XMD/XYD  波纹管 O型圈密封 单作用 (N.C.) 阀体： 　SCS13 　(相当SUS304) 波纹管： 　SUS316L 25～80 XMH/XYH  手动 波纹管密封 手动 阀体： 　SCS13 　 (相当SUS304) 波纹管： 　SUS316L 16～50注） 特长 采用铸造一体化结构，无气体滞留。 与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)

产品规格
电导（l / s）注1）
泄漏（Pa·m3
/ s）的
运行时间（s）
法兰（阀门）尺寸
阀门类型
流体
工作温度（°C）
操作压力（Pa）
法兰型
主要材料注3）
导压力（MPa）
试点港口规模
主排气阀
初始排气阀
常闭（加压打开，弹簧密封）[主要和初始排气阀]
惰性气体在真空下
5至60（高温型：5至150）
大气压力为1 x 10-6
在环境温度下为1.3×10 -10 {1×10 -10}，不包括气体渗透
在环境温度下为1.3×10-11 ，不包括气体渗透
0.4至0.7 [主排气门和初始排气门]
（kg）注2）
注1）主排气阀传导性是尺寸相同的弯管分子流的阀。初始排气阀是粘性的值
流。

XYA-63高真空直通型阀，日本SMC
初始排气阀开度调整
操作前应调整初始排气速率（带驾驶员
端口S处于未加压状态）。
通过转动调节螺母将初始排气速率设置为零
顺时针旋转直至停止。 （不要使用工具。）
通过逆时针旋转螺母来调整初始排气速率。
调整螺母的数量（其螺距为1毫米）旋转和初始
应参照上图确认排气导流
正确的。
x初始排气阀（阀S）打开
当向导端口S施加压力时，阀S被移除
从阀门S组件打开并打开，直到调整的开度
设置。
c主排气阀（阀M）
当向导口M施加压力时，阀M被移除
从车身座椅表面*打开。
v关闭初始排气阀，主排气阀
通过去除两个阀的导端口S和M的压力
回到他们的密封位置。
注2）（）中的数字表示CF（配合）配件的。
注3）在真空部分的密封材料滑动部分（初始排气阀滑动部分）上涂覆真空脂[Y-VAC2]涂层。
阀体：SCS13（符合不锈钢SUS304）波纹管：不锈钢SUS316L
波纹管支架：不锈钢SUS304。 FKM（标准密封材料）